Dipl. Ing. (FH) Andreas Meier | F&E Mikrosystemtechnik

[31]  F. Völklein, M. Simon, A. Meier: Entwicklung und Anwendung von biokompatiblen und medienresistenten Drucksnsoren, speziell zum Einsatz in der Medizintechnik,
Zwischenbericht zum Forschungsprojekt BioMeDrus,
FH-Wiesbaden, Rüsselsheim (2009);

[30]  G. Host, W. Kleinekofort, A. Meier, F. Völklein: Biokompatible Oberflächenvergütungen von Kathetern,
Abschlußbericht zum Forschungsprojekt BIOKOMP,
FH-Wiesbaden, Rüsselsheim (2008);

[29]  A. Meier: Strukturierung von Glas,
Workshop "Nanoimpring-Technologien für die Optik: Template-Herstellung und optische Anwendung",
PZH-Wetzlar, Wetzlar 6. Juni (2008), (invited lecture);

[28]  F. Völklein, A. Meier: Microstructured vacuum gauges and their future perspecitves, Vacuum 82 (2008), 420-430;

[27]  F. Völklein, M. Schild, A. Meier: Microelectromechanical sensors for measuring gas pressure (invited paper),
Proc. IVC 17 Conference;
Stockholm July 2-5 (2007);

[26]  A. Meier: Übertragung eines Laborprozesses für die Herstellung von Kavitäten-Matrizes in Glas-Substraten auf Fertigungsebene,
Diplomarbeit, Fachhochschule Wiesbaden, (2007);

[25]  A. Meier, F. Völklein: Maskierung halbkugelförmiger Vertiefungen in Display-Glas für die nasschemische Bearbeitung,
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt REVLIT;
Rüsselsheim, (2007);

[24]  F. Völklein, A. Meier: Microstructured vacuum gauges and their future perspectives (invited paper),
Proc. of Joint Meeting of the German Vacuum Society, The Polish Vacuum Society, The Swedish Vacuum Society, Swiss Vacuum on ;

[23]  F. Völklein, A. Meier: Physical and technological aspects of MEMS vacuum packaging (invited paper),
Proc. WS-18 Conference;
Salamanca (Spain) June 26-30 (2006);

[22]  F. Völklein, A. Meier, B. Schreder, R. Liebald, E. Pawlowski and T. Woywod: Novel Techniques for Micropatterning of Glasses,
Proc, 3rd DGG Symposium on Novel Optical Technologies;
Würzburg 24-25 May (2005);

[21]  A. Meier, F. Völklein: Untersuchung von RIE-Prozessen in Spezialglas,
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt GE-RIE;
Rüsselsheim, (2005);

[20]  A. Meier, F. Völklein: Herstellung von Phasenreliefstrukturen in PtCrIr-Schichten,
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt PRÄSTE;
Rüsselsheim, Februar (2005);

[19]  F. Völklein, A. Meier: Chapter 53: Thermoelectric microelectromechanical systems (MEMS)
in Thermoelectrics Handbook: Macro to Nano-Structured Materials (Ed. D. M. Rowe);
CRC Press LLC, Boca Raton (2005);

[18]  F. Völklein, A. Meier, M. Blumers: Chapter 26: Measurement and theoretical interpretation of thermoelectric transport properties of thin films
in Thermoelectrics Handbook: Macro to Nano-Structured Materials (Ed. D. M. Rowe);
CRC Press LLC, Boca Raton (2005);

[17]  A. Meier, F. Völklein: Untersuchung von Trockenätztechniken in Gläsern, Bericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt GLARIE;
Rüsselsheim, (2004) ;

[16]  A. Meier, F. Völklein: Mikrostrukturierung von Glas durch RIE und IBE
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt GLATCH 4;
Rüsselsheim, (2004);

[15]  A. Meier, F. Völklein: Herstellung von Phasenrelief-Strukturen in Quarzglas und Zirkonoxid-Substraten
Bericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt DIFOPT II;
Rüsselsheim, (2004);

[14]  A. Meier, F. Völklein: Realisierung von Phasenrelief-Strukturen für diffraktive mikrooptische Komponenten in Gläsern durch RIE und IBE
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt DIFOPT II;
Rüsselsheim, (2004);

[13]  A. Meier, F. Völklein, E. Pawlowski: Mikrooptische Bauelemente als Komponenten für Mikrosysteme
TTN-Jahresveranstaltung;
Darmstadt, (2003) ;

[12]  A. Meier, F. Völklein: Mikrostrukturierte Metallisierungen (Busbars) auf ITO-Substraten
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt METTCO;
Rüsselsheim, (2003);

[11]  A. Meier, F. Völklein: Realisierung von Diffraktionsoptiken in Gläsern durch Ionenaustausch
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt DIFOPT;
Rüsselsheim, (2003);

[10]  F. Völklein, A. Meier and H.-D. Bauer: Aufbau einer Apparatur zur feldunterstützten Diffusion für die Entwicklung von Silizium-Glas-Kopplerstrukturen, AGAFE-Mitteilungen Vol. 22, 14-18;
Rüsselsheim, (2003);

[9]  U. Langbein, D. Brähler and A. Meier: Reflexverminderung = optische Vergütung, Skript zur Lehrveranstaltung Optik I, FH-Wiesbaden, FB10;
Rüsselsheim, (2003);

[8]  A. Meier, F. Völklein: Untersuchung der Eignung von ORMOCERE als Substrat zur Erzeugung von lichtwellenleitenden Strukturen durch Diffusion von Metall-Ionen, Abschlußbericht für IMM Mainz zur Voruntersuchung ORMOCERE;
Rüsselsheim, (2003);

[7]  A. Meier, F. Völklein: Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE III Nachtrag;
Rüsselsheim, (2003);

[6]  A. Meier, F. Völklein: Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE III;
Rüsselsheim, (2002);

[5]  A. Meier, F. Völklein: Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE II;
Rüsselsheim, (2002);

[4]  J. Rüter, A. Meier, F. Völklein: Untersuchungen zur Herstellung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Glassubstraten mittels Photolithographie und Silber-Diffusion
Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE;
Rüsselsheim, (2001);

[3]  F. Völklein, L. Schmidt, M. Blumers, A. Meier: Verbundprojekt NITHERMA, Niederdimensionale Thermoelektrische Materialien für Energiewandler, Teilprojekt FHW, FKZ 03N2014C;
Rüsselsheim, (2000);

[2]  F. Völklein, A. Meier, M. Blumers: Thermoelectric Microsystems (MEMS) fabricated by Standard IC-Technology and Micomachining
Proc. XIX. Int. Conf. on Thermoelectrics (ICT) 2000, Cardiff, UK (2000);

[1]  J. Nurnus, C. Künzel, H. Beyer, A. Lambrecht, H. Böttner, H. Griesmann, A. Meier, M. Blumers, F. Völklein, N. Herres: Structural and Thermoelectric Properties of Bi2Te3 Based Layered Structures
Proc. XIX. Int. Conf. on Thermoelectrics (ICT) 2000, Cardiff, UK (2000), pp. 236 - 239;

BioMeDrus:
Entwicklung und Anwendung von biokompatiblen und medien-resistenten Drucksensoren, speziell zum Einsatz in der Medizintechnik
    ProInno II Verbundprojekt (KF) mit Heimann Sensors GmbH, Eltville (2008/2009)

BIOKOMP:
Biokompatible Oberflächenvergütung von Kathetern
    Forschungsförderung der FH-Wiesbaden (2008)

GLADRUSE:
Entwicklung eines biokompatiblen Drucksensors für Anwendungen in Dialysegeräten
    Forschungsprojekt in Kooperation mit Heimann Sensors GmbH, Eltville, 2007/2008

DIMIKO:
Entwicklung diffraktiver mikrooptischer Komponenten für optische Abstandssensoren und Systeme
    BMBF-Projekt  2007

REVLIT:
Maskierung halbkugelförmiger Vertiefungen in Display-Glas für die nasschemische Bearbeitung
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2007

SOLITO:
Untersuchung zur Herstellung von flächigen ITO-Kontakten auf Solarzellen
    Forschungsprojekt im Auftrag von inek Solar AG, Rüsselsheim, 2006

BiPol: Untersuchungen zur Herstellung von Korrosionsschutzschichten für Bipolar-Platten
    Forschungsprojekt in Zusammenarbeit mit dem Labor für Wasserstofftechnik, FHW, Rüsselsheim, 2006

X-PACK: Untersuchung von nasschemischen Tiefenätzungen in AF37
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT EP, Landshut, 2005

BF33-COMP: Vergleichende Untersuchung der Ätzraten von BF33 aus unterschiedlichen Chargen
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT Jenaer Glas GmbH, Jena, 2005

SOHO IV: Technologie-Entwicklung für die Herstellung von Glas-Molds für die Fertigung von Solder-Balls
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2006

SOHO III: Technologie-Entwicklung für die Herstellung von Glas-Molds für die Fertigung von Solder-Balls
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2006

SOHO II: Technologie-Entwicklung für die Herstellung von Glas-Molds für die Fertigung von Solder-Balls
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2005

SOHO I: Technologie-Entwicklung für die Herstellung von Glas-Molds für die Fertigung von Solder-Balls
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2005

Ge-RIE: Untersuchung von RIE-Prozessen in Spezialglas
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2005

EXTRA III: Herstellung von mikrofluidischen Kanälen durch nasschemische Ätzverfahren
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT Nexterion, Jena, 2005

EXTRA II: Herstellung von mikrofluidischen Kanälen durch nasschemische Ätzverfahren
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT Nexterion, Jena, 2004

EXTRA I: Untersuchung zur Herstellung von mikrofluidischen Kanälen durch nasschemische Ätzverfahren
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT Nexterion, Jena, 2004

BF33Etch: Untersuchung von nasschemischen Ätzverfahren für BF33
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT Jenaer Glas GmbH, Jena, 2004

PRÄSTE: Herstellung von Phasenreliefstrukturen in PtCrIr-Schichten
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2004

VEGA I: Untersuchung von nasschemischen Ätzverfahren für Gläser
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2004

GLARIE: Untersuchung von Trockenätztechniken in Gläsern
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2004

GLATCH 4: Mikrostrukturierung von Glas durch RIE und IBE
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2004

DIFOPT II: Realisierung von Phasenrelief-Strukturen für diffraktive mikrooptische Komponenten in Gläsern durch RIE und IBE
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2004

METTCO: Mikrostrukturierte Metallisierungen (Busbars) auf ITO-Substraten
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2003

ORMOCERE: Untersuchung der Eignung von ORMOCERE als Substrat zur Erzeugung von lichtwellenleitenden Strukturen durch Diffusion von Metall-Ionen
    Forschungsprojekt im Auftrag von IMM Mainz GmbH, 2003

DIFOPT: Realisierung von Diffraktionsoptiken in Gläsern durch Ionenaustausch
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2003

CHANGE III: Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2002

CHANGE II: Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2002

Entwicklung von Silizium-Glas-Koppelstrukturen
    HMWK/ATG 71  Projekt, 2002

CHANGE: Untersuchungen zur Herstellung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Glassubstraten mittels Photolithographie und Silber-Diffusion
    Forschungsprojekt im Auftrag von SCHOTT AG Mainz, 2001

Ausheizsteuerung für BESSY II
    Entwicklungsprojekt im Auftrag der Berliner Elektronen-Synchrotron GmbH, BESSY II, 1998

NITHERMA: Niederdimensionale thermoelektrische Materialien für Energiewandler
    BMBF-Projekt, FKZ 03N2014C; 1998 - 2001

Hall-Effekt, Bestimmung der Ladungsträgerdichte in einem Störstellenhalbleiter
Musterbericht zum Labor-Versuch: Hall-Effekt

Bestimmung des elektrischen Bandabstandes eines Halbleiters aus der Temperaturabhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit
Musterbericht zum Labor-Versuch: Bestimmung des elektrischen Bandabstandes eines Halbleiters

Reflexionsverminderung = optische Vergütung
Teilskript zur Lehrveranstaltung Opitk I bei Herrn Langbein. Entstanden WS03/04

Vakuumtechnik: Grundlagen, Erzeugung, Messung und Anwendungen von Vakuum
Grundlagen der Vakuumtechnik, PowerPoint Präsentation, 126 S.

Einführung in die Raster-Kraft-Mikroskopie
Grundlagen der Raster-Kraft-Mikroskopie (AFM), PowerPoint Präsentation, 47 S.

Konstruktionsbericht und Bedienungsanleitung zu 2", 3", und 4" Ätzdosen
Bedienungsanleitung zu den im MST-Labor eingesetzten Ätzdosen