VAKUUMTECHNIK
Kurzbeschreibung
Schwerpunkt der Labor-Lehrveranstaltung ist die praktische, experimetelle Arbeit der Studierenden an den Laborapparaturen. Dadurch werden wichtige Fähigkeiten und Erfahrungen für die spätere berufspraktische Tätigkeit im F&E-Bereich oder in der industriellen Produktion und Applikation vermittelt.
Team
Lehrveranstaltungen
Vakuumtechnik im Bachelor- Studiengang Physikalische Technik
Inhalt
Im Labor Vakuumtechnik/Dünnschichttechnologie werden im Rahmen einer Lehrveranstaltung von 6 Semesterwochenstunden (2 Theorie, 4 Labor) folgende Inhalte vermittelt:
▪ kinetische Gastheorie
▪ Methoden und Apparaturen zur Erzeugung von Vakua
▪ Messung des Saugvermögens von Vakuumpumpen
▪ Druckmessung in den verschiedenen Vakuum-Bereichen
▪ Partialdruckmessung (Massenspektrometrie)
▪ Erzeugung und Charakterisierung von Niederdruckplasmen (Langmuir-Sonde)
▪ Messung der Permeation
▪ Bestimmung der Ausgasrate von vakuumtechnischen Werkstoffen
▪ Anwendung von Vakuumanlagen zur Herstellung dünner Schichten (thermische Verdampfung, Magnetron-Sputtern)
Kontakt
Fachgebiet: Vakuumtechnik, Mikrosystemtechnik
Telefon: +49 (0)6142 - 898-4531
Telefon: +49 (0)6142 - 898-4581
Telefon: +49 (0)6142 - 898-4524